专利摘要显现,本发明供给一种硅棒检测集成设备,触及硅棒检测技术领域,包括硅棒本体、支撑台、调理设备和辅佐设备,支撑台的上外表固定衔接有榜首导轨,榜首导轨的内壁滑动衔接有衔接架,衔接架的一侧装置有喷墨模组,支撑台的上外表固定衔接有第二导轨,第二导轨的内壁滑动衔接有滑动架,滑动架的一侧装置有相机模组,支撑台的内壁滚动衔接有若干个导轮,硅棒本体与导轮的圆弧面相贴合。本发明,查验形式的集成,代替原人工查验,变更为自动化出产形式,查验方法安稳接连,包括检测外观、电阻率、长度、划线、分段及对应数据功用上传等功用,然后防止人工查验差异化所形成的断定偏差等状况呈现,来提升了产线功率及良率。
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