第三代半导体碳化硅比第一代硅半导体具有更优的高频、高压、高温才能,能够在必定程度上完结体系更低的能耗、更小的体积和分量,被大范围的运用于新能源轿车、光伏发电、AI电源、轨道交通、智能电网及航空航天等范畴。
相较于当时干流的150mm(6英寸)碳化硅外延晶片,以及尚处产业化推动阶段的200mm(8英寸)晶片,300mm(12英寸)晶片凭仗直径的明显扩容,在相同出产工序下,单片可承载的芯片(器材)数量完成大幅度的进步——较6英寸晶片提升至4.4倍,较8英寸晶片提升至2.3倍。
现在,瀚天天成已发动12英寸碳化硅外延晶片的批量供给筹备工作,产品在关键性能指标上体现优异:外延层厚度不均匀性控制在3%以内,掺杂浓度不均匀性≤8%,2mm×2mm芯片良率大于96%,可充沛满意下流功率器材范畴的高可靠性运用需求。
据悉,瀚天天成是我国首家完成商业化3英寸、4英寸、6英寸碳化硅外延晶片批量供给的出产商。依据灼识咨询研报,公司2023年已成为全世界规划最大的碳化硅外延晶片供给商,2024年全球市场占有率超31%。
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